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來源: 發布時間:2025-11-18

注入量精確調配裝置通過嵌入引流口2接入鹽酸裝罐7進行原料注入,工作人員通過負壓引流器21將鹽酸硝酸引向注入量控制容器18內,通過觀察注入量控制容器18內的注入量觀察刻度線19對注入量進行精確控制,當到達設定的注入量時將限流銷20插入進行限流即可,很好的對注入量進行精確控制,提高了該裝置的制備純度。工作原理:首先,通過設置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內,從而很好的減小了發生反應的劇烈程度,很好的起到了保護作用。然后,通過設置加固支架10,加固支架10為連接在兩側底座支柱的三角結構,利用三角結構穩定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。接著,通過設置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現了該裝置的防燙性。緊接著,通過設置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉電機組13驅動旋轉搖勻轉盤12,使旋轉搖勻轉盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉搖勻,同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內部的蝕刻液通過內置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉。BOE蝕刻液推薦蘇州博洋化學股份有限公司。京東方用的蝕刻液蝕刻液廠家現貨

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本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環過濾,備用。廣東哪家蝕刻液蝕刻液私人定做如何正確使用蝕刻液。

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將裝置主體1內部的蝕刻液進行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:對于這類的回收處理裝置,首先將蝕刻液倒入進液漏斗6并由過濾網7過濾到進液管8中,之后蝕刻液流入到承載板3上的電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環塊13配合連接桿14和伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能,之后金屬銅在隔膜5左側析出;其次在蝕刻液初次電解后,通過控制面板30啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環電解蝕刻液的作用,然后打開二號電磁閥23,將蝕刻液通過二號排液管22導入到分隔板2左側,傾斜板24使得蝕刻液向左流動以便排出到裝置主體1外,接著啟動抽氣泵19,將電解池4中產生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現有害氣體的清理,緊接著打開活動板25將金屬銅取出,之后啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將由進水管27導入到蓄水箱26中的清水。

如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當宣泄孔為斜錐孔態樣時,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達到上述的實施目的,本實用新型另提出一種蝕刻設備,設置于一濕式蝕刻機的一槽體內,蝕刻設備至少包括有一如上所述的擋液板結構、一基板、一輸送裝置,以及一風刀裝置;基板設置于擋液板結構的下方;輸送裝置設置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運行基板;風刀裝置設置于擋液板結構的一端部,風刀裝置包括有一設置于基板上方的***風刀。蘇州BOE蝕刻液的生產廠商。

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其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風刀裝置的***風刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風刀裝置分別借由一設置于該輸送裝置的上端部的***風刀與一設置于該輸送裝置的下端部的第二風刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產生的技術效果:本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。附圖說明圖1:傳統擋液板結構的整體設置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖。圖3:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結構其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖。蝕刻液使用時要注意什么?深圳蝕刻液銷售廠家

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裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內部中間部位固定連接有連接構件11,裝置主體1的內部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,連接構件11的內側固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內部底端另一側固定連接有收集倉8,收集倉8的另一側底部固定連接有密封閥門7,過濾部件9的頂端兩側活動連接有滑動蓋24,過濾部件9的內部中間兩側固定連接有收縮彈簧管25,連接構件11的內側兩端嵌入連接有螺紋管27,連接構件11的內部中間兩側活動連接有活動軸28,連接構件11的內側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間,避免環境外部的雜質進入儲罐內,有效的提高了裝置使用的密封性。推薦的,連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接,在旋轉連接構件11的兩側時,操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。京東方用的蝕刻液蝕刻液廠家現貨

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