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來源: 發(fā)布時間:2023-04-18

    如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者,請再參閱圖10至圖12所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態(tài)樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態(tài)樣(如圖11所示),其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,當該宣泄孔121為斜錐孔的態(tài)樣時,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,但應(yīng)避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過大而造成毛細現(xiàn)象破除;此外,當該宣泄孔121為斜錐孔態(tài)樣時。什么制程中需要使用蝕刻液。成都哪家蝕刻液蝕刻液銷售廠家

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    以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。該風刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。成都哪家蝕刻液蝕刻液銷售廠家維信諾用的哪家的蝕刻液?

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    本實用新型涉及資源回收再利用領(lǐng)域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術(shù):線路板生產(chǎn)工業(yè)中,會對已經(jīng)使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態(tài)下進入分離器,會在分離器中發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現(xiàn)有技術(shù)因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導致了產(chǎn)品發(fā)生損失。技術(shù)實現(xiàn)要素:基于此,有必要針對現(xiàn)有技術(shù)氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設(shè)有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產(chǎn)生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設(shè)有減壓閥,所述蒸汽出口處設(shè)有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經(jīng)除霧組件除霧的氣體進行除沫。在其中一個實施例中,所述除霧組件為設(shè)有多個平行且曲折的通道的折流板。在其中一個實施例中,所述除沫組件為絲網(wǎng)。在其中一個實施例中,所述分離器設(shè)有液位計、液位開關(guān)、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中。

    其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉(zhuǎn)動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風刀裝置的***風刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的***風刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果:本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風刀裝置的硬體設(shè)計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優(yōu)勢。附圖說明圖1:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。華星光電用的哪家的蝕刻液?

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    本實用涉及電子化學品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來,人們對半導體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時,對于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴格,而蝕刻的效果能直接導致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細導線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,對蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合。現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒有過濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會的需求。所以,如何設(shè)計高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當前需要解決的問題。如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。廣州京東方用的蝕刻液蝕刻液商家

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    如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達到上述的實施目的,本實用新型另提出一種蝕刻設(shè)備,設(shè)置于一濕式蝕刻機的一槽體內(nèi),蝕刻設(shè)備至少包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)、一基板、一輸送裝置,以及一風刀裝置;基板設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的下方;輸送裝置設(shè)置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運行基板;風刀裝置設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的一端部,風刀裝置包括有一設(shè)置于基板上方的***風刀。成都哪家蝕刻液蝕刻液銷售廠家

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