廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-29

需具備四重安全防護：①氮氣泄漏報警，當環境氮氣濃度超 1%（體積比）時，聲光報警并自動切斷氮氣供應；②超溫保護，腔體內溫度超設定值 10℃時，立即停止加熱并啟動冷卻；③門體聯鎖，開門時自動切斷加熱與氮氣供應，防止人員接觸高溫腔體；④過流保護，電路電流超額定值時自動斷電，避免設備損壞。設備需符合 GB 50493-2019《危險場所電氣安全規程》，確保操作安全。廣東華芯半導體技術有限公司的烤箱，安全防護體系通過相關認證。

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