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上海PSP光刻機(jī)不需要緩慢且昂貴的光掩模

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-10-20

NanoWriterAdvanceNWA-100:亞微米級精度突破,NWA-100作為high-end型號,將分辨率提升至0.3μm,憑借405nm激光光源與優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng),可刻制接近納米級的精細(xì)結(jié)構(gòu)。該設(shè)備支持多層半自動對準(zhǔn),only需數(shù)分鐘即可完成多層圖案疊加,高重復(fù)性(0.1μm)確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可復(fù)現(xiàn)性。在柔性電子研發(fā)中,某團(tuán)隊(duì)利用其0.6μm精度加工的電極圖案,使柔性傳感器響應(yīng)速度提升40%,充分展現(xiàn)了其在high-end科研中的應(yīng)用價(jià)值。德國 Polos 是桌面級紫外激光直寫光刻機(jī)領(lǐng)域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 為core定位。主打無掩模技術(shù)與緊湊設(shè)計(jì),產(chǎn)品覆蓋 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率達(dá) 0.3-23μm,適配多基材加工。廣泛應(yīng)用于微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,為科研機(jī)構(gòu)與中小企業(yè)提供高性價(jià)比微納加工解決方案,推動技術(shù)普惠。?低成本科研普惠:桌面化設(shè)計(jì)減少投入,無掩膜工藝降低中小型實(shí)驗(yàn)室門檻。上海PSP光刻機(jī)不需要緩慢且昂貴的光掩模

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某基因treatment團(tuán)隊(duì)采用 Polos 光刻機(jī)開發(fā)了微米級 DNA 遞送載體。通過 STL 模型直接導(dǎo)入,在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窩狀微孔結(jié)構(gòu),載體的 DNA 負(fù)載量達(dá) 200μg/mg,較傳統(tǒng)電穿孔法提升 5 倍。動物實(shí)驗(yàn)顯示,該載體在肝臟靶向遞送中,基因轉(zhuǎn)染效率達(dá) 65%,且免疫原性降低 70%。其無掩模特性支持根據(jù)不同細(xì)胞表面受體定制載體形貌,在 CAR-T 細(xì)胞treatment中,CAR 基因?qū)胄蕪?30% 提升至 75%,相關(guān)技術(shù)已申請國際patent。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復(fù)雜圖案。一個(gè)新加坡研究團(tuán)隊(duì)通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟(jì)高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進(jìn)行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實(shí)驗(yàn)室,并broad應(yīng)用于微流體、電子學(xué)和納/微機(jī)械系統(tǒng)等各個(gè)領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)高效性使其優(yōu)勢擴(kuò)展到大學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室以外的領(lǐng)域,為半導(dǎo)體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機(jī)會。河北光刻機(jī)不需要緩慢且昂貴的光掩模Polos-BESM XL:加大加工幅面,滿足中尺寸器件一次性成型需求。

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Polos系列通過無掩模技術(shù)減少化學(xué)廢料產(chǎn)生,同時(shí)低能耗設(shè)計(jì)(如固態(tài)激光光源)符合綠色實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)。例如,其光源系統(tǒng)較傳統(tǒng)DUV光刻機(jī)能耗降低30%,助力科研機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復(fù)雜圖案。一個(gè)新加坡研究團(tuán)隊(duì)通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟(jì)高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進(jìn)行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實(shí)驗(yàn)室,并broad應(yīng)用于微流體、電子學(xué)和納/微機(jī)械系統(tǒng)等各個(gè)領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)高效性使其優(yōu)勢擴(kuò)展到大學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室以外的領(lǐng)域,為半導(dǎo)體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機(jī)會。

售后服務(wù):科研保障的全周期覆蓋,Polos通過經(jīng)銷商網(wǎng)絡(luò)提供完善的售后支撐,設(shè)備整機(jī)質(zhì)保期長達(dá)1年,貨期約200天。安裝調(diào)試階段提供現(xiàn)場free培訓(xùn),確保操作人員快速掌握設(shè)備使用與維護(hù)技巧。針對科研機(jī)構(gòu)的特殊需求,還可提供定制化光學(xué)模塊更換服務(wù),例如將405nm光源升級為375nm以適配i-Line光刻膠,這種靈活的服務(wù)模式大幅提升了設(shè)備的適配性。德國 Polos 是桌面級紫外激光直寫光刻機(jī)領(lǐng)域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 為core定位。主打無掩模技術(shù)與緊湊設(shè)計(jì),產(chǎn)品覆蓋 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率達(dá) 0.3-23μm,適配多基材加工。廣泛應(yīng)用于微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,為科研機(jī)構(gòu)與中小企業(yè)提供高性價(jià)比微納加工解決方案,推動技術(shù)普惠。?材料科學(xué):超疏水表面納米圖案化,接觸角 165°,防腐蝕性能增強(qiáng) 10 倍。

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軟件系統(tǒng):操作門檻的大幅降低,Polos配套的控制軟件簡化了專業(yè)光刻操作,基于Windows系統(tǒng)的界面支持CAD文件與位圖直接導(dǎo)入,導(dǎo)航邏輯類似CNC系統(tǒng),無需專業(yè)編程知識即可上手。SFTprint軟件的自動劑量測試功能,可根據(jù)光刻膠類型自動匹配曝光參數(shù),新手也能獲得穩(wěn)定的加工效果。多層對準(zhǔn)向?qū)Чδ軇t將復(fù)雜的多層光刻流程拆解為步驟化操作,使非專業(yè)人員也能完成高精度疊加加工。德國 Polos 是桌面級紫外激光直寫光刻機(jī)領(lǐng)域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 為core定位。主打無掩模技術(shù)與緊湊設(shè)計(jì),產(chǎn)品覆蓋 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率達(dá) 0.3-23μm,適配多基材加工。廣泛應(yīng)用于微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,為科研機(jī)構(gòu)與中小企業(yè)提供高性價(jià)比微納加工解決方案,推動技術(shù)普惠。?德國 SPS Polos:深耕微納加工 35 年,專注半導(dǎo)體與生命科學(xué)領(lǐng)域,全球布局 6 大技術(shù)中心,服務(wù) 500 + 科研機(jī)構(gòu)。上海德國桌面無掩模光刻機(jī)光源波長405微米

納 / 微機(jī)械:亞微米級結(jié)構(gòu)加工,微型齒輪精度達(dá) ±50nm,推動微機(jī)電系統(tǒng)創(chuàng)新。上海PSP光刻機(jī)不需要緩慢且昂貴的光掩模

BeamXL:中尺寸器件的加工升級,BeamXL型號針對中尺寸器件需求升級,將加工幅面擴(kuò)大至更大規(guī)格,支持一次性成型中等尺寸微結(jié)構(gòu),無需多次拼接。其保留了Beam系列的core優(yōu)勢,分辨率仍可達(dá)0.8μm,同時(shí)提升了掃描速度與激光功率穩(wěn)定性。在太陽能電池柵線加工中,該設(shè)備可一次性完成5英寸基板的精細(xì)柵線刻制,使電池轉(zhuǎn)換效率提升3%,為光伏領(lǐng)域的小批量研發(fā)提供高效解決方案。德國 Polos 是桌面級紫外激光直寫光刻機(jī)領(lǐng)域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 為core定位。主打無掩模技術(shù)與緊湊設(shè)計(jì),產(chǎn)品覆蓋 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率達(dá) 0.3-23μm,適配多基材加工。廣泛應(yīng)用于微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,為科研機(jī)構(gòu)與中小企業(yè)提供高性價(jià)比微納加工解決方案,推動技術(shù)普惠。?上海PSP光刻機(jī)不需要緩慢且昂貴的光掩模

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