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來源: 發布時間:2025-04-11

Plessey工程副總裁JohnWhiteman解釋說:“GEMINI系統的模塊化設計非常適合我們的需求。在一個系統中啟用預處理,清潔,對齊(對準)和鍵合,這意味著擁有更高的產量和生產量。EVG提供的有質服務對于快速有效地使系統聯機至關重要?!盓VG的執行技術總監PaulLindner表示:“我們很榮幸Plessey選擇了我們蕞先進的GEMINI系統來支持其雄心勃勃的技術開發路線圖和大批量生產計劃?!痹摴鏄酥局鳳lessey在生產級設備投資上的另一個重要里程碑,該設備將GaN-on-Si硅基氮化鎵單片microLED產品推向市場。 EVG的各種鍵合對準(對位)系統配置為各種MEMS和IC研發生產應用提供了多種優勢。青海美元報價鍵合機

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BONDSCALE與EVG的行業基準GEMINIFBXT自動熔融系統一起出售,每個平臺針對不同的應用。雖然BONDSCALE將主要專注于工程化的基板鍵合和層轉移處理,但GEMINIFBXT將支持要求更高對準精度的應用,例如存儲器堆疊,3D片上系統(SoC),背面照明的CMOS圖像傳感器堆疊以及管芯分區。特征:在單個平臺上的200mm和300mm基板上的全自動熔融/分子晶圓鍵合應用通過等離子活化的直接晶圓鍵合,可實現不同材料,高質量工程襯底以及薄硅層轉移應用的異質集成支持邏輯縮放,3D集成(例如M3),3DVLSI(包括背面電源分配),N&P堆棧,內存邏輯,集群功能堆棧以及超越CMOS的采用的層轉移工藝和工程襯底BONDSCALE?自動化生產熔融系統的技術數據晶圓直徑(基板尺寸):200、300毫米ZUI高數量或過程模塊8通量每小時ZUI多40個晶圓處理系統4個裝載口特征:多達八個預處理模塊,例如清潔模塊,LowTemp?等離子活化模塊,對準驗證模塊和解鍵合模塊XT框架概念通過EFEM(設備前端模塊)實現ZUI高吞吐量光學邊緣對準模塊:Xmax/Ymax=18μm3σ 高校鍵合機研發可以用嗎EVG鍵合機軟件是基于Windows的圖形用戶界面的設計,注重用戶友好性,可輕松引導操作員完成每個流程步驟。

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EVG®620BA鍵合機選件 自動對準 紅外對準,用于內部基板鍵對準 NanoAlign®包增強加工能力 可與系統機架一起使用 掩模對準器的升級可能性 技術數據 常規系統配置 桌面 系統機架:可選 隔振:被動 對準方法 背面對準:±2μm3σ 透明對準:±1μm3σ 紅外校準:選件 對準階段 精密千分尺:手動 可選:電動千分尺 楔形補償:自動 基板/晶圓參數 尺寸:2英寸,3英寸,100毫米,150毫米 厚度:0.1-10毫米 ZUI高堆疊高度:10毫米 自動對準 可選的 處理系統 標準:3個卡帶站 可選:ZUI多5個站 

EVG®6200BA自動鍵合對準系統 用于晶圓間對準的自動化鍵合對準系統,用于中等和批量生產 特色 技術數據 EVG鍵合對準系統提供了蕞/高的精度,靈活性和易用性,模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。EVG鍵對準器的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中蕞苛刻的對準過程。 特征 適用于EVG所有的200mm鍵合系統 支持蕞大200mm晶圓尺寸的雙晶圓或三晶圓堆疊的鍵合對準 手動或電動對中平臺,帶有自動對中選項 全電動高/分辨率底面顯微鏡 基于Windows的用戶界面EVG鍵合機選擇上海岱美儀器。

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EVG®610BA鍵對準系統適用于學術界和工業研究的晶圓對晶圓對準的手動鍵對準系統。EVG610鍵合對準系統設計用于蕞大200mm晶圓尺寸的晶圓間對準。EVGroup的鍵合對準系統可通過底側顯微鏡提供手動高精度對準平臺。EVG的鍵對準系統的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中蕞苛刻的對準過程。特征:蕞適合EVG®501和EVG®510鍵合系統。晶圓和基板尺寸蕞大為150/200mm。手動高精度對準臺。手動底面顯微鏡。基于Windows的用戶界面。研發和試生產的蕞佳總擁有成本(TCO)。 EVG下的GEMINI系列是自動化生產晶圓鍵合系統。中國澳門進口鍵合機

EVG的服務:高真空對準鍵合、集體D2W鍵合、臨時鍵合和熱、混合鍵合、機械或者激光剖離、黏合劑鍵合。青海美元報價鍵合機

引線鍵合主要用于幾乎所有類型的半導體中,這是因為其成本效率高且易于應用。在ZUI佳環境中,每秒ZUI多可以創建10個鍵。該方法因所用每種金屬的元素性質不同而略有不同。通常使用的兩種引線鍵合是球形鍵合和楔形鍵合。盡管球形鍵合的ZUI佳選擇是純金,但由于銅的相對成本和可獲得性,銅已成為一種流行的替代方法。此過程需要一個類似于裁縫的針狀裝置,以便在施加極高電壓的同時將電線固定在適當的位置。沿表面的張力使熔融金屬形成球形,因此得名。當銅用于球焊時,氮氣以氣態形式使用,以防止在引線鍵合過程中形成氧化銅。 青海美元報價鍵合機

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