HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現300mm的大批量生產■批量生產低至40nm的結構或更小尺寸（分辨率取決于過程和模板）■結合了預處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術■全自動壓印和受控的低力分離，可蕞大程度地重復使用工作印章■具備工作印章制造能力EVG®770：連續重復的納米壓印光刻技術，可進行有效的母版制作■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高效母模制造，直至SmartNIL®的納米結構■不同類型的母版的簡單實現■可變的光刻膠分配模式■分配，壓印和脫模過程中的實時圖像■用于壓印和脫模的原位力控制EVG的納米壓印設備包括不同的單步壓印系統，大面積壓印機以及用于高效母版制作的分步重復系統。半導體納米壓印保修期多久

EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹：EVGroup是納米壓印光刻（NIL）的市場領仙設備供應商。EVG開拓了這種非常規光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究，開發和現場經驗進行了優化，以解決常規光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區的代理商，歡迎各位聯系岱美，探討納米壓印光刻的相關知識。岱美愿意與您共同進步。高精密儀器納米壓印技術支持EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統。

NIL系統肖特增強現實負責人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm，對于實現我們客戶滿足當今和未來領仙AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規模經濟產量來說至關重要。通過攜手合作，EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性。”在此之前，使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形瑾限于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業市場邁出的重要一步。不過，在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的，需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究、開發和實驗，旨在滿足納米圖案成形的需求，經過了現場驗證，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板。去年六月，EVG推出了HERCULES®NIL300mm，將SmartNIL引入300-mm制造，滿足各種設備和應用的生產需求，其中包括AR、MR和虛擬現實（VR）頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器、生物醫療設備、納米光子學和等離子電子學。集成到SmartNIL®UV-NIL系統的全模塊化EVG®HERCULES®。

EVG®720特征：體積驗證的壓印技術，具有出色的復制保真度專有SmartNIL®技術，多使用聚合物印模技術集成式壓印，UV固化脫模和工作印模制造盒帶到盒帶自動處理以及半自動研發模式可選的頂部對準可選的迷你環境適用于所有市售壓印材料的開放平臺從研發到生產的可擴展性系統外殼，可實現ZUI佳過程穩定性和可靠性技術數據晶圓直徑（基板尺寸）75至150毫米解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率LED（i線）>400mW/cm2對準：可選的頂部對準自動分離：支持的迷你環境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的EVG開拓了這種非常規光刻技術，擁有多年技術，掌握了NIL，并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量化生產。

SmartNIL是行業領仙的NIL技術，可對小于40nm*的極小特征進行圖案化，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合，可實現無人可比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術。注：*分辨率取決于過程和模板。如果需要詳細的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。EVG?610和EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統。高精密儀器納米壓印技術支持

EVG開拓了這種非常規光刻技術，擁有多年技術，掌握了NIL，并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。半導體納米壓印保修期多久

EVG®720自動SmartNIL®UV納米壓印光刻系統自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設有EVGs專有SmartNIL®技術EVG720系統利用EVG的創新SmartNIL技術和材料專業知識，能夠大規模制造微米和納米級結構。具有SmartNIL技術的EVG720系統能夠在大面積上印刷小至40nm*的納米結構，具有無人能比的吞吐量，非常適合批量生產下一代微流控和光子器件，例如衍射光學元件（DOEs）。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。也可以訪問岱美儀器技術服務有限公司的官網，獲得更多信息。半導體納米壓印保修期多久