半導體滾鍍設備

是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備，主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝，實現高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求

與傳統滾鍍不同，半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

三、設備組成

1.電鍍槽：

材質：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環系統：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質

2.旋轉載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩旋轉

轉速控制：通過伺服電機調節轉速，優化鍍層均勻性

3.陽極系統：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調節：控制電場分布，減少邊緣效應

4.供液與噴淋系統：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調節鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數 槽體設備采用 PVC、PP 等耐酸堿材料，根據電解液特性定制，有效抵御鹽酸、鉻酸等藥液腐蝕。高精密電鍍設備生產線

全自動磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉載具確保鍍液流動均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術特點

1.高均勻性：

旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象，鍍層均勻性達±5%以內。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設備內建HEPA過濾系統，滿足Class 1000以下潔凈環境。

4.高效生產：支持多片晶圓同時處理（如6片/批次），UPH（每小時產量）可達50~100片。

應用場景

1.先進封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結構表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 湖北隨州微弧氧化電鍍設備電鍍設備中的掛鍍裝置，通過掛具懸掛工件，適用于汽車零件等中大件，可實現鍍層均勻附著。

滾掛一體電鍍實驗設備的特點

是一種用于電鍍實驗的專業裝置，它融合了滾鍍和掛鍍兩種電鍍方式于一體。

該設備通常由鍍槽、滾桶、掛具、電源系統、攪拌裝置、溫控系統等部分組成。在進行電鍍實驗時，既可以將小型零件放入滾桶中進行滾鍍，使零件在滾動過程中均勻地鍍上金屬層；也可以通過掛具將較大或形狀特殊的零件懸掛在鍍槽中進行掛鍍，以滿足不同類型零件的電鍍需求。這種設備具有功能多樣、操作靈活、占地面積小等優點，能夠為電鍍工藝的研究和開發提供便利，幫助科研人員和技術人員更好地掌握電鍍技術，優化電鍍參數，提高電鍍質量。

電鍍設備的組成

1.電解電源系統

提供穩定直流電，通常采用高頻開關電源或硅整流器，電壓范圍0-24V，電流可調至數千安培，滿足不同鍍種需求。

2.電解槽體結構

耐腐蝕材質槽體（如PP/CPVC/PVDF），尺寸設計依據生產需求，典型容積0.5-10m3，配置防滲漏雙層結構。

3.電極系統

陽極組件：可溶性金屬（如鎳板）或不溶性陽極（鈦籃+金屬球），配置陽極袋防止雜質擴散

陰極掛具：定制化設計，確保工件均勻受鍍，接觸電阻＜0.1Ω

4.工藝控制系統

溫控精度±1℃，流量控制誤差＜5%

在線pH監測（±0.1精度）

安培小時計控制鍍層厚度

設備分類與技術參數

類型                    適用場景                  產能(㎡/h)              厚度均勻性                 典型配置

掛鍍線                精密零部件                   0.5-2                     ±5%                    多工位龍門架，PLC控制        滾鍍系統            小件批量處理                  3-8                      ±15%                    六角滾筒，變頻驅動          連續電鍍線           帶材/線材                     10-30                     ±8%                    張力控制+多槽串聯          選擇性電鍍             局部強化                   0.1-0.5                   ±3%                   數控噴射裝置，微區控制 無氰鍍鋅設備使用鋅酸鹽絡合劑替代。

電鍍生產線的類型

1.掛鍍生產線：適用于各種形狀和尺寸的零件，尤其是較大型、批量較小的零件，能夠保證零件的電鍍質量和均勻性。

應用：汽車零部件、機械零件、五金制品等行業，如汽車輪轂、自行車車架、門把手等的電鍍。

2.滾鍍生產線：該生產線生產效率高，適合于大批量、小尺寸零件的電鍍。

應用：常見于電子元件、緊固件、小飾品等行業，如螺絲、螺母、電子引腳、拉鏈等的電鍍。

3.連續鍍生產線：具有自動化程度高、生產速度快、鍍層均勻等優點，能夠實現高效、穩定的生產。

應用：用于電子、電器行業的帶狀材料，如電子線路板的電鍍、電線電纜的鍍錫等。

4.塑料電鍍生產線：由于塑料本身不導電，需要先對塑料零件進行特殊的前處理，如化學鍍等，使其表面形成一層導電層，然后再進行常規的電鍍工藝。塑料電鍍生產線需要增加專門的塑料前處理設備和工藝。

應用：在汽車內飾件、電子產品外殼、裝飾品等領域，如汽車儀表盤、手機外殼、塑料紐扣等的電鍍。

5.貴金屬電鍍生產線：用于電鍍金、銀、鉑等貴金屬，對電鍍工藝和設備的要求較高，需要精確控制電鍍參數，以保證貴金屬鍍層的質量和純度。

應用：用于珠寶首飾、電子工業、航空航天等領域，如首飾的鍍金、電子芯片的鍍金絲等。 自動化電鍍線的機器人上下料系統，通過視覺識別定位工件，實現高精度無人化操作。山東超硬鍍層電鍍設備

鍍鉻設備需配置鉛合金陽極與陽極袋，防止雜質污染電解液，確保硬鉻鍍層的高硬度與耐磨性。高精密電鍍設備生產線

玻璃鋼離心風機是采用玻璃纖維增強塑料（FRP）制造的離心式通風設備，由玻璃鋼葉輪、機殼及金屬支架構成。工作時電機驅動葉輪高速旋轉，通過離心力將氣體甩出機殼，葉輪中心形成負壓持續吸入氣體，實現高效輸送。其特點包括：1. 耐酸堿鹽腐蝕，適用于化工、污水處理等腐蝕性環境；2. 重量輕強度高，便于運輸安裝且結構穩定；3. 低噪音設計，適合對環境要求高的場所；4. 可定制化適配不同風量風壓需求。廣泛應用于工業廢氣處理（如化工廢氣、冶金粉塵）、環保工程（污水處理廠除臭、垃圾站換氣）及民用通風（商場空調、住宅排油煙）等領域，兼具耐候性與經濟性高精密電鍍設備生產線