廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

金屬表面處理真空鍍膜基底若出現污染痕跡，首要辨源：指紋油、拋光液或包裝纖維。對策：①超聲堿洗+IPA脫水，配合無油氮吹干；②進腔前Ar等離子體轟擊3 min，功率100 W，去有機殘膜并微粗化；③工裝夾具每批后用超聲，防止交叉污染；④真空傳遞盒內置潔凈級0.3 μm過濾器，減少空氣中塵?；芈?；⑤若痕跡已形成，低功率反濺5 nm再重新開始沉積，避免把缺陷埋入膜內。經此金屬表面處理閉環管理，基底表面顆粒密度可降至0.2顆/cm2，膜層率下降80%，保障批量金屬表面處理真空鍍膜良品率，降低金屬表面處理返工成本，穩定金屬表面處理生產節拍。

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