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晶圓掃描顯微鏡的維護保養(yǎng)有哪些關鍵點？如何延長設備壽命？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-10-23

防潮是關鍵。光學鏡片受潮易生霉，導致光線散射或圖像模糊。存放時應選擇干燥環(huán)境（濕度<50%），并在顯微鏡箱內(nèi)放置硅膠干燥劑，定期烘烤（如60℃烘烤2小時）以恢復吸濕能力；機械部分受潮易生銹，需避免接觸液體。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
杭州芯紀源半導體設備有限公司
簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業(yè)從事半導體檢測設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的科技型企業(yè)。
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-24

    防塵可減少磨損。灰塵落入光學系統(tǒng)會降低透光率，落入機械部分（如導軌、齒輪）會增加摩擦，導致運動受阻。使用前需用吹風球清理載物臺和物鏡表面灰塵，避免用布直接擦拭；長期停用時需覆蓋防塵罩。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-29

    定期校準確保精度。物鏡、光源、載物臺等部件需定期校準（如每3個月一次），例如檢查物鏡放大倍數(shù)是否準確、光源亮度是否均勻、載物臺移動是否平穩(wěn)；校準需使用標準樣品（如NIST溯源標片），并記錄校準數(shù)據(jù)以便追溯。

    本回答由 杭州芯紀源半導體設備有限公司 提供

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企業(yè)信息

杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯(lián)系人： 吳先生

手   機： 4008034068

網(wǎng)   址： https://www.xjy-tec.com

地   址：
浙江省杭州市市轄區(qū)良渚街道網(wǎng)周路99號4幢21層2103室
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