杭州博測材料科技有限公司2025-11-14

主要特點與優勢 1、極高的靈敏度：能夠檢測含量極低（ppt級別）的痕量和超痕量元素。 2、寬廣的動態范圍：可從主量元素（百分之幾）到超痕量元素（ppt級）進行同時分析，無需稀釋或更換方法。GDMS在半導體材料雜質分析中的準確度比ICP-MS高出30%。 3、直接分析固體：避免了復雜的樣品溶解過程，減少了由試劑引入的污染和待測元素的損失。 4、幾乎全覆蓋的元素分析：能夠分析元素周期表中從鋰到鈾的絕大多數元素。 5、分析速度快：一旦樣品準備好，分析過程相對較快。 6、譜線簡單：由于使用惰性氣體氬，產生的背景干擾離子較少，質譜圖相對簡單干凈，易于解析 局限性 樣品必須導電：對于直流GD-MS，樣品需要具有良好的導電性。分析非導體（如陶瓷、玻璃）需要使用更復雜的射頻源（RF-GD-MS）。 固體樣品制備：需要將樣品加工成特定的形狀和尺寸，對于某些脆性或難以加工的材料可能存在挑戰。 儀器成本高：GD-MS 設備非常昂貴，操作和維護需要專業的知識和經驗。 相對破壞性：分析過程會對樣品表面造成微米級的濺射損傷，雖然損傷很小，但樣品無法完全恢復原狀。 總而言之，輝光放電質譜（GD-MS）是一種強大而專業的元素分析工具，它主要服務于對材料純度有極端要求的前列工業和科研領域，是確保**材料性能和質量的關鍵技術之一。

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