上海倍藍光電科技有限公司2025-09-15

倍藍顯微分光膜厚儀集成50倍長工作距物鏡，光斑尺寸較小可達5μm，專為微電子器件局部膜厚測量設計。共軸照明系統確保了對深孔和臺階結構的清晰成像。倍藍特有的多區域對比測量功能，可自動識別并排除劃痕等表面缺陷的干擾。在某MEMS器件檢測中，成功測量了20μm焊盤上的2μm厚金鍍層。儀器平臺采用大理石底座，隔振性能優異，配合倍藍精密電動載物臺，定位重復性達±1μm。軟件提供3D膜厚分布重構功能，可直觀顯示芯片表面鍍層均勻性。

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