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芯片制造超純水循環節能突破

來源: 發布時間:2025-06-03

芯片制造過程中,超純水的需求量非常大,尤其是在晶圓生產和清洗過程中,水的消耗和廢水的處理成為了一個重要的成本和環境挑戰。為了應對這一問題,許多半導體制造廠開始著手在水資源的循環使用和節能方面進行技術創新。臺積電18廠在這一方面取得了明顯進展,部署了膜電容去離子(MCDI)系統,將超純水的制備能耗從每立方米5kWh降低到了1.8kWh,節省了大量能源,同時將廢水回收率提升至92%。這一技術的應用不僅幫助臺積電降低了能源消耗,還在環境保護方面發揮了重要作用。

該MCDI系統的創新之處在于它采用了240個水質傳感器來實時監控和優化水質,在離子交換樹脂的再生周期方面進行精細調整。通過智能化的管理,化學品的消耗量得到了大幅減少,降低了運營成本,同時也減少了對環境的負面影響。這種先進的技術不僅提升了水處理的效率,也為半導體行業提供了一個可持續的解決方案。

與此同時,三星也在水資源的管理上進行了積極的探索。其工廠通過采用人工智能技術,預測了晶圓沖洗過程中水的需求量,并成功地實現了單片節水19升。通過這一措施,三星有效地減少了純水系統的負載波動,系統的負荷波動率從±35%降至了±7%,保證了生產過程的穩定性和水資源的高效利用。

此外,英特爾在其生產線中也取得了不小的成就。通過優化水資源管理,該公司成功實現了年節水450萬噸,相當于約3.6萬人一年的用水量。這一成績表明,隨著技術的進步,半導體制造業在水資源利用方面已經取得了很大的進展,未來還將有更多類似的創新成果出現。

通過這些技術創新,芯片制造業不僅提升了生產效率,還在水資源的節約和能源消耗的降低方面做出了積極貢獻。這些實踐案例展示了在全球范圍內,半導體行業正在朝著更加綠色、可持續的方向發展,為環境保護和資源節約做出了實實在在的貢獻。

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