早期聲表面諧振器的缺陷是插入損耗大（一般在15dB以上），而這對于要求低功耗的通信設備特別是接收前端是完全無法接受的。為滿足現代通信系統及其它用途的要求，人們通過開發高性能的壓電材料和改進IDT設計，使器件的插入損耗降低到3dB～4dB，可達1dB。而在眾多壓電材料研究成果中，更為引人注目的是日本村田制作所發明的ZnO/藍寶石層狀結構基片材料，利用這種基片材料，已制造出1.5GHzPDC用射頻聲表面諧振器，其插入損耗只1.2dB。聲表面諧振器的小型片式化，是移動通信和其他便攜式產品提出的基本要求。越秀區聲表面諧振器343

在移動通信系統中，無論是數字式還是模擬式，其發射和接收信號的功能模塊電路結構基本相同。在Tx端，在載波上對信號進行調制, 通過放大電路將功率放大，然后經過SAW濾波器濾波后由天線將信號發出，本通道要求濾波器損耗低，可承受大功率；在R x端通道，天線接收到的微弱信號經SAW濾波器過濾后，進行放大解調，獲得所要的信息，要求濾波器損耗低，阻帶抑制高。傳統的介質濾波器一般具有損耗低、大帶寬以及較高的功率承受能力等特點。但其致命的弱點是體積太大，難以適應移動電話向微型化方向發展的趨勢。而SAW濾波器具有體積小，適合于微型封、一致性好、無須調整的優點。本文以無線通信系統中移動電話用SAW濾波器(其技術要求為：Tx端中心頻率f 0為902.5 MHz，帶寬為25 MHz；R x端f 0為947.5 MHz，帶寬為25 MHz)為例，介紹梯型結構SAW濾波器的等效電路分析，并給出設計結果。白云區聲表面諧振器 頻率不同通信模式的工作頻段不同，所以我們需要在收發鏈路中使用多個濾波器來避免信號之間的干擾。

為了克服智能變電站溫度檢測環境復雜、非接觸、精度低、成本高等的缺點，中理工學院的張朋等人開發了一種可應用于智能變電站中的無源無線聲表面波智能溫度傳感器，并研究了溫度傳感器的檢測機理以及傳感器收發系統; 同時基于開發的無源無線聲表面波傳感器構建了智能變電站溫度檢測系統。實驗結果表明： 該無源無線聲表面波溫度傳感器可徹底解決電纜接頭、開關柜、隔離開關等電力設備測溫的安裝不方便、強電磁干擾、工作環境溫度高和信號傳輸等難題。

手機終端通信模塊主要由天線、射頻前端模塊、射頻收發模塊、基帶信號處理等組成。射頻前端模塊介于天線和射頻收發模塊之間，是智能移動互連領域的重要組成部分。射頻前端器件主要包含：濾波器（Filter）、低噪聲放大器（Low Noise Amplifier，LNA）、功率放大器（Power Amplifier，PA）、射頻開關（RF Switch）、天線調諧開關（RF Antenna Switch）、雙工器（Duplexer）等。射頻濾波器由電容、電感、電阻等元件組成，并將特定頻率外的信號濾除，保留特定頻段內的信號。目前，手機常用濾波器產品主要包含：聲表面波濾波器（Surface Acoustic Wave Filter，SAW Filter）、固貼式薄膜體聲波濾波器（SMR Bulk Acoustic Wave Filter）、薄膜腔體諧振濾波器（FilmBulk Acoustic Resonator，FBAR）、濾波器模組，如DiFEM（分集接收模組，集成射頻開關和濾波器）、LFEM（集成射頻開關、濾波器及低噪聲放大器）等。與芯片的制造一樣，SAW濾波器的工藝和設計同等重要。

聲表面波器件通常簡稱SAW（Surface Acoustic Wave），聲表面器件在頻率元器件分為兩種：聲表面波諧振器（SAW resonator）和聲表面濾波器（SAW Filter），其原理是基于一種用石英、鈮酸鋰或釬鈦酸鉛等壓電晶體為基片，在其表面拋光后在上面蒸發一層金屬膜，通過光刻工藝制成兩組具有能量轉換功能的交叉指型的金屬電極。分別稱為輸入叉指換能器和輸出叉指換能器。當輸入叉指換能器接上交流電壓信號時，壓電晶體基片的表面就產生振動，并激發出與外加信號同頻率的聲波，此聲波主要沿著基片的表面的與叉指電極升起的方向傳播，故稱為聲表面濾波，其中一個方向的聲波被除數吸聲材料吸收，另一方向的聲波則傳送到輸出叉指換能器，被轉換為電信號輸出。因為聲表面波和襯底發生了強烈的耦合，所以其傳播過程中的振幅和速度都會受到襯底參數的影響。寶安區聲表面諧振器的作用

濾波器的功能是通過電容、電感、電阻等電學元件組合來將特定頻率外的信號濾除，保留特定頻段內的信號。越秀區聲表面諧振器343

聲表面波器件是在壓電基片上制作兩個聲一電換能器——叉指換能器。所謂叉指換能器，就是在壓電基片表面上形成形狀像兩只手的手指交叉狀的金屬圖案，它的作用是實現聲一電換能。聲表面波器件的工作原理是，基片左端的換能器(輸入換能器)通過逆壓電效應將愉入的電信號轉變成聲信號，此聲信號沿基片表面傳播，終由基片右邊的換能器(輸出換能器)將聲信號轉變成電信號輸出。整個聲表面波器件的功能是通過對在壓電基片上傳播的聲信號進行各種處理，并利用聲一電換能器的待性來完成的。越秀區聲表面諧振器343

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