對于當今的多芯片（multi-die packages）封裝，例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統級封裝(SiP)–開發用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統產量至關重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時，它的位置會被記住，以便以后在IC封裝過程中使用。有時，芯片有內部備用資源可用于修復（即閃存IC）；如果它沒有通過某些測試模式，則可以使用這些備用資源。探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。北京直流探針臺機構

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。四川溫控探針臺生產廠家從功能上來區分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF探針臺，LCD平板探針臺，表面電阻率探針臺。

探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當的位置。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端，并且在某些情況下提供旋轉運動。

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。上海勤確科技有限公司以滿足客戶要求為重點。

自動化探針臺搭配測試機能夠對出廠晶圓片的電氣參數、光學參數進行測試，根據測試結果評定上一道工序的工藝質量，并指導下一道工序。從全球市場看，半導體探針臺設備行業集中度較高，目前主要由國外廠商主導，行業呈現較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機、電高度一體化的產品，國內在這一方向研究幾乎為零，市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產X系列半自動探針臺并成功推向市場，成功填補國內該研發生產領域的空白。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。吉林手動高低溫探針臺公司

探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節。北京直流探針臺機構

手動探針臺：普遍應用于，科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段，批量不是很大的情況，大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表，量測半導體器件IV CV脈沖/動態IV等參數。用途：以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。北京直流探針臺機構