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湖北POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

來源: 發布時間:2025-10-20

Polos光刻機與德國Lab14集團、弗勞恩霍夫研究所等機構合作,推動光子集成與半導體封裝技術發展。例如,Quantum X align系統的高對準精度(100 nm)為光通信芯片提供可靠解決方案,彰顯德國精密制造與全球產業鏈整合的優勢。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。亞微米級精度:0.8 μmmost小線寬,支持高精度微流體芯片與MEMS器件制造。湖北POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

湖北POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米,光刻機

一所高校的電子工程實驗室專注于新型傳感器的研究。在開發一款超靈敏壓力傳感器時,面臨著如何在微小尺寸上構建高精度電路圖案的難題。德國 Polos 光刻機的引入解決了這一困境。其可輕松輸入任意圖案進行曝光的特性,讓研究人員能夠根據傳感器的特殊需求,設計并制作出獨特的電路結構。通過 Polos 光刻機precise的光刻,成功制造出的壓力傳感器,靈敏度比現有市場產品提高了兩倍以上。該成果已獲得多項patent,并吸引了多家科技企業的關注,有望實現產業化應用,為可穿戴設備、智能機器人等領域帶來新的發展機遇。江蘇PSP光刻機工業4.0協同創新:與弗勞恩霍夫ILT合作優化激光能量分布,提升制造精度。

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可編程微流控芯片需要集成電路控制與流體通道,傳統工藝需多次掩模對準,良率only 30%。Polos 光刻機的多材料同步曝光技術,支持在同一塊基板上直接制備金屬電極與 PDMS 通道,將良率提升至 85%。某微系統實驗室利用該特性,開發出可實時切換流路的生化分析芯片,通過軟件輸入不同圖案,10 分鐘內即可完成從 DNA 擴增到蛋白質檢測的模塊切換。該成果應用于 POCT 設備,使現場快速檢測系統的體積縮小 60%,檢測時間縮短至傳統方法的 1/3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。

品牌定位:桌面級微納加工的革新者,德國Polos以“高精度、低成本、易操作”為core定位,專注于紫外激光直寫光刻機研發,打破了傳統光刻設備對大型實驗室的依賴。其產品主打無掩模技術與緊湊設計,將亞微米級加工能力融入桌面級設備,覆蓋微電子、材料科學、生物醫學等多領域。從科研機構的快速原型制作到中小企業的小批量生產,Polos通過技術普惠,成為全球微納加工領域的親民型benchmark品牌。德國 Polos 是桌面級紫外激光直寫光刻機領域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 為core定位。主打無掩模技術與緊湊設計,產品覆蓋 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率達 0.3-23μm,適配多基材加工。廣泛應用于微電子、生物醫學等領域,為科研機構與中小企業提供高性價比微納加工解決方案,推動技術普惠。光刻膠broad兼容:支持AZ5214E、SU-8等材料,優化參數降低側壁粗糙度。

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德國 Polos 光刻機系列是電子學領域不可或缺的精密設備。其無掩模激光光刻技術,讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠實現超高精度的圖案繪制。在芯片研發過程中,Polos 光刻機可precise刻畫出納米級別的電路結構,為芯片性能提升奠定基礎。? 科研團隊使用 Polos 光刻機,成功開發出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運算速度。而且,該光刻機可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設計需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發,Polos 光刻機都能以高精度、低成本的優勢,為電子學領域的科研成果產出提供有力保障,推動電子技術不斷創新。POLOS μ:超緊湊設計,納米級精度專攻微流控與細胞芯片。遼寧德國POLOS桌面無掩模光刻機MAX層厚可達到10微米

空間友好設計:占地面積小于 1.2㎡,小型實驗室也能部署高精度光刻系統。湖北POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

在科研領域,設備的先進程度往往決定了研究的深度與廣度。德國的 Polos - BESM、Polos - BESM XL、SPS 光刻機 POLOS μ 帶來了革新之光。它們運用無掩模激光光刻技術,摒棄了傳統光刻中昂貴且制作周期長的掩模,極大降低了成本。這些光刻機可輕松輸入任意圖案進行曝光,在微流體、電子學和納 / 微機械系統等領域大顯身手。例如在微流體研究中,能precise制造復雜的微通道網絡,助力藥物傳輸、細胞培養等研究。在電子學方面,可實現高精度的電路圖案曝光,為芯片研發提供有力支持。其占用空間小,對于空間有限的研究實驗室來說堪稱完美。憑借出色特性,它們已助力眾多科研團隊取得成果,成為科研創新的得力助手 。湖北POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

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