上海彌正超高純乙硼烷（5N 級(jí)純度），專為 FinFET、GAA（全環(huán)繞柵極）等先進(jìn)晶體管結(jié)構(gòu)的超淺結(jié)摻雜工藝設(shè)計(jì)，以 “超高純度 + 準(zhǔn)確控制” 突破芯片制程瓶頸。采用低溫合成與精密吸附提純技術(shù)，將雜質(zhì)含量控制在極低水平，其中磷、砷等雜質(zhì)含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，滿足 5nm 及以下先進(jìn)制程對(duì)超淺結(jié)摻雜的嚴(yán)苛要求。在超淺結(jié)摻雜中，它能提供高濃度的硼離子，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料的準(zhǔn)確、淺度摻雜，形成高性能的 P 型半導(dǎo)體層，其純度與穩(wěn)定性直接影響結(jié)深控制精度與器件的閾值電壓，對(duì)提升晶體管開關(guān)性能至關(guān)重要。提供定制化的稀釋與輸送方案，可根據(jù)客戶工藝需求，將乙硼烷準(zhǔn)確稀釋至 1-100ppm 的標(biāo)準(zhǔn)混合氣，采用不銹鋼管道輸送，配備在線濃度監(jiān)測(cè)與自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，確保摻雜過程準(zhǔn)確可控。某專注于先進(jìn)制程的芯片設(shè)計(jì)與制造企業(yè)應(yīng)用后，GAA 晶體管的閾值電壓波動(dòng)范圍縮小至 ±0.02V，開關(guān)電流提升 20%，成功實(shí)現(xiàn) 5nm 制程芯片的穩(wěn)定量產(chǎn)。超高純氯化氫純度≥99.999%，是光伏行業(yè)多晶硅提純的關(guān)鍵試劑。上海正戊烷超高純氣體芯片制造

上海彌正超高純二氧化碳（5N 級(jí)純度），專為細(xì)胞培養(yǎng)、食品加工、激光切割等場(chǎng)景設(shè)計(jì)，以 “高純度 + 高安全性” 成為多領(lǐng)域推薦。通過精餾與吸附提純工藝，將水分、氧氣、硫化物等雜質(zhì)含量控制在 0.1ppb 以下，其中有害雜質(zhì)硫化物含量≤0.01ppb，確保使用安全。在細(xì)胞培養(yǎng)領(lǐng)域，可精細(xì)調(diào)控培養(yǎng)環(huán)境的 pH 值，維持細(xì)胞正常生理活性，提升細(xì)胞增殖效率；在食品加工領(lǐng)域，用于碳酸飲料充氣與食品冷凍保鮮，無異味、無殘留，符合食品接觸安全標(biāo)準(zhǔn)；在激光切割領(lǐng)域，作為輔助氣體可提升切割效率與切口平整度。采用特用高壓氣瓶包裝，配備防泄漏閥門與壓力調(diào)節(jié)裝置，氣體輸出壓力穩(wěn)定，流量調(diào)節(jié)范圍 1-100L/min。某生物科技企業(yè)應(yīng)用后，細(xì)胞培養(yǎng)密度提升 20%，細(xì)胞活性維持時(shí)間延長(zhǎng) 3 天；某食品企業(yè)使用后，碳酸飲料口感穩(wěn)定性提升，食品冷凍保鮮期延長(zhǎng) 50%，完全滿足不同行業(yè)的安全與性能要求。四氟化碳超高純氣體生產(chǎn)廠家超高純氣體廣泛應(yīng)用于電子、光伏、醫(yī)療等領(lǐng)域，推動(dòng)制造業(yè)發(fā)展。

上海彌正針對(duì)碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等第三代半導(dǎo)體制造，打造專屬超高純氣體解決方案，以 “適配寬禁帶特性 + 準(zhǔn)確工藝控制” 助力功率器件與射頻器件量產(chǎn)。方案涵蓋超高純氨氣、硅烷、氫氣、氬氣等重心氣體，其中用于 GaN 外延生長(zhǎng)的超高純氨氣純度達(dá) 7N 級(jí)，金屬雜質(zhì)含量≤0.01ppb；用于 SiC 刻蝕的超高純氟化物氣體純度達(dá) 6N 級(jí)，確保材料刻蝕的準(zhǔn)確度與表面質(zhì)量。第三代半導(dǎo)體材料具有耐高溫、耐高壓、高頻的特性，對(duì)氣體純度與雜質(zhì)控制要求遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)硅基半導(dǎo)體，該方案通過準(zhǔn)確控制氧、碳、金屬等雜質(zhì)含量，有效減少外延層缺陷，提升器件的擊穿電壓與可靠性。提供外延生長(zhǎng)、離子注入、刻蝕、退火等全工藝環(huán)節(jié)的氣體組合，并配備工藝適配團(tuán)隊(duì)，協(xié)助客戶優(yōu)化氣體流量、壓力等工藝參數(shù)。某專注于 SiC 功率器件的企業(yè)應(yīng)用該方案后，外延片的缺陷密度從 103cm?2 降至 102cm?2 以下，器件的擊穿電壓提升 20%，成功實(shí)現(xiàn)車規(guī)級(jí) SiC MOSFET 的穩(wěn)定量產(chǎn)。

上海彌正針對(duì)航空航天與工業(yè)，打造涵蓋超高純氦氣、氫氣、氬氣的特種氣體解決方案，滿足火箭發(fā)射、衛(wèi)星推進(jìn)、精密焊接等極端場(chǎng)景需求。超高純氦氣純度達(dá)99.9999%，低于-85℃，可用于火箭燃料加壓與系統(tǒng)檢漏，其低沸點(diǎn)特性確保在極端低溫環(huán)境下仍能保持氣態(tài)；超高純氫氣純度達(dá)6N級(jí)，作為衛(wèi)星推進(jìn)系統(tǒng)的燃料，能量密度高且燃燒產(chǎn)物無污染；超高純氬氣用于鈦合金零部件焊接保護(hù)，避免高溫氧化影響材料力學(xué)性能。所有氣體均通過嚴(yán)格的高低溫環(huán)境測(cè)試，在-50℃至60℃范圍內(nèi)均能穩(wěn)定供應(yīng)，氣瓶采用級(jí)度材料制造，抗壓強(qiáng)度達(dá)30MPa，防泄漏性能符合國(guó)際航空運(yùn)輸協(xié)會(huì)（IATA）標(biāo)準(zhǔn)。某航天企業(yè)應(yīng)用后，火箭燃料系統(tǒng)檢漏準(zhǔn)確率達(dá)100%，鈦合金焊接焊縫強(qiáng)度提升20%，衛(wèi)星推進(jìn)系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性提高，完全滿足航空航天領(lǐng)域?qū)怏w可靠性與安全性的戰(zhàn)略要求。超高純磷烷純度達(dá) 99.999%，是芯片制造中 N 型摻雜的重心氣體。

上海彌正針對(duì)半導(dǎo)體制造全流程，打造涵蓋超高純氮?dú)狻錃狻鍤狻⒎餁怏w等多品類的定制化氣體解決方案，覆蓋晶圓清洗、刻蝕、沉積、摻雜等**工藝。所有氣體純度均達(dá)到 5N-7N 級(jí)別，其中用于光刻工藝的特種氣體純度高達(dá) 9N 級(jí)，金屬雜質(zhì)含量控制在 0.01ppb 以下，完全滿足不同制程芯片的生產(chǎn)要求。提供從氣體提純、包裝、運(yùn)輸?shù)浇K端輸送的全鏈條服務(wù)，配備痕量雜質(zhì)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室，每批次產(chǎn)品均通過 GC-MS（氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀）檢測(cè)，確保各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo)；輸送管道采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光與鈍化處理，內(nèi)壁粗糙度≤0.2μm，避免顆粒產(chǎn)生與氣體污染。某晶圓制造廠應(yīng)用該解決方案后，整體工藝缺陷率降低 40%，設(shè)備維護(hù)周期延長(zhǎng) 3 倍，年節(jié)約運(yùn)維成本超 500 萬(wàn)元。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，2023 年全球半導(dǎo)體用高純氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 58.7 億美元，上海彌正憑借精細(xì)的工藝適配性與穩(wěn)定的供應(yīng)能力，成為國(guó)內(nèi)多家晶圓廠的**供應(yīng)商，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化發(fā)展。超高純氣體輸送管道需鈍化處理，避免內(nèi)壁雜質(zhì)影響氣體純度。上海乙烷超高純氣體新能源

超高純氘氣（純度 99.999%）用作核磁共振成像的造影氣體。上海正戊烷超高純氣體芯片制造

上海彌正超高純氣體產(chǎn)品多面符合歐盟 RoHS 2.0 指令要求，為電子電器產(chǎn)品達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)提供關(guān)鍵材料保障，助力客戶產(chǎn)品順利進(jìn)入全球市場(chǎng)。公司對(duì)生產(chǎn)超高純氣體的原料、輔料及包裝材料進(jìn)行嚴(yán)格篩選與檢測(cè)，確保鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻等 RoHS 限制物質(zhì)的含量均低于指令限值（如鉛≤1000ppm），并建立了完整的供應(yīng)商合規(guī)檔案與物料追溯體系。所有產(chǎn)品均通過第三方機(jī)構(gòu)的 RoHS 檢測(cè)，出具合格的檢測(cè)報(bào)告，可應(yīng)客戶要求提供，用于產(chǎn)品的 RoHS 符合性聲明。在半導(dǎo)體與電子元件制造中，使用該合規(guī)氣體能有效避免產(chǎn)品因材料環(huán)保問題被市場(chǎng)拒入，提升產(chǎn)品的環(huán)保競(jìng)爭(zhēng)力。某消費(fèi)電子企業(yè)使用其 RoHS 合規(guī)超高純氣體生產(chǎn)的智能手機(jī)零部件，順利通過歐盟 RoHS 認(rèn)證，產(chǎn)品在歐洲市場(chǎng)的銷量同比增長(zhǎng) 22%，品牌環(huán)保形象得到明顯提升。上海正戊烷超高純氣體芯片制造

上海彌正氣體有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡，一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地，繪畫新藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù)，信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易，失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念，市場(chǎng)是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團(tuán)結(jié)一致，共同進(jìn)退，**協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來上海彌正氣體供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來，即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī)，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點(diǎn)燃新的希望，放飛新的夢(mèng)想！