高精密環控柜由我司自主研發，是一款精密環境控制產品，可實現ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設備運行數據實時記錄查詢，且配備自動安全保護系統，確保長時間運行無憂。其構成部分包括設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷（熱）系統、照明系統、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。濕度控制采用 “外環境保證相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現環境倉內部濕度穩定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風量小溫差設計，通過空氣快速循環過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數值（關鍵區域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。極測（南京）冷水機組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達±0.002℃，配置過載保護、液位監測、漏液檢測等功能。恒溫恒濕精密溫控參數

高精密冷凍水機組是一種專為工業及特殊環境設計的制冷設備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環，為高精度制造、數據中心、醫藥生產等領域提供穩定可靠的冷卻解決方案。其關鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制，滿足嚴苛的溫控需求。極測（南京）技術有限公司采??研溫控技術，高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機，配套高質量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節能等優點。高精密冷凍水機組采用自主研發高精度溫度采集模塊，準確測量實驗艙內實時的溫濕度數值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級調節、無級調節電加熱器、模擬量控制加濕器可根據實際實驗艙需求調節輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制，使實驗室內溫度濕度處于穩定狀態，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實驗艙內濕度控制快速準確，沒有誤操作誤判斷。江西精密溫控穩定性控溫精度：提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內。

控溫精度：提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內，確保測量過程的穩定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協同保障：設備同時實現 ±0.5%@8h 的高濕度穩定性，杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上，關鍵工作區蕞高優于 ISO class3 標準，嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環境定制：極測具備強大的全場景非標定制能力，不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩定性需求，還能根據用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環境參數，為干涉儀量身打造理想的工作空間。

極測（南京）微環境控制系統設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發的光學元件發霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統可實現百級以上潔凈度控制，蕞高優于 ISO class3（設備工作區），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環境控制系統具備強大的數據實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環境變化。微環境控制系統數據自動保存且可隨時導出，運行狀態與故障狀態同步記錄，方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統可實現故障自動保護，確保設備全天候穩定運行，減少因故障導致的測量中斷。系統由設備主柜體、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。

三坐標測量儀通過探針接觸或非接觸式光學掃描等方式，對工件的尺寸、形狀和位置進行精確測量。在測量過程中，環境溫度的細微變化會引發測量儀自身結構以及被測工件的熱脹冷縮。例如，當溫度波動 1℃時，對于長度為 1 米的金屬工件，其長度變化可達 10 微米左右，這在高精度測量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會影響測量儀的測量精度，還可能導致測量結果的重復性變差，使生產過程中的質量檢測出現偏差，進而影響產品的蕞終質量和性能。極測（南京）深憑借在微環境控制領域的深厚技術積累，為高duan半導體量測設備設計精密環控系統。重慶0.002精密溫控

極測（南京）擁有自己的工廠，能夠有效地將研發成果轉化為實際產品。恒溫恒濕精密溫控參數

極測（南京）高精密水冷冷凍水機組的 “數字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎控溫鏈路，控溫精度達 ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐級控溫專利設計（如分級制冷回路）進一步細化控制層級，部分機型引入自適應模糊控制算法，在激光加工、醫療設備等復雜場景中，將精密水冷冷凍水機組的控溫精度提升至±0.001℃（毫 K 級）。
精密水冷冷凍水機組采用板式換熱器，其微通道結構與波紋板片設計使傳熱系數提升 20%~40%，同時具備體積緊湊、易維護等優勢；不銹鋼 / 銅材質增強耐腐蝕性，適配半導體、醫療等行業對水質與潔凈度的高要求；環保冷媒 R410A 的應用，更契合全球綠色制造趨勢。
恒溫恒濕精密溫控參數