恒溫恒濕實驗室建設(shè)要求也十分嚴(yán)格。它一般包括恒溫恒濕實驗區(qū)、緩沖間、空調(diào)間，且各區(qū)域需在同一建設(shè)平面內(nèi)。恒溫恒濕室技術(shù)上要符合 ISO、GB 標(biāo)準(zhǔn)，各恒溫恒濕實驗室溫度能控制在設(shè)定值 ±0.01℃~±1℃，相對濕度為設(shè)定值 ±(1~2)%，風(fēng)速 0.25m/s 。對房屋建筑也有要求，建筑物周圍不能有強(qiáng)磁場、震動、熱源、異味、污染等干擾因素。層高應(yīng)在 2.8m 以上（梁下凈空高度），門窗要盡量減少數(shù)量并做好保溫措施。滿足實驗室使用功能上，送風(fēng)多采用孔板式上送風(fēng)、下回風(fēng)，室內(nèi)凈空高度 2.5~2.85m，無窗且減少門的數(shù)量。新建實驗室恒溫室內(nèi)不設(shè)上下水、供暖管線設(shè)施，改建的則需按規(guī)范對上下水、供暖管線作隔熱防潮處理。實驗室內(nèi)消防不宜用噴淋系統(tǒng)，如需安裝建議選用氣體滅火系統(tǒng) 。空調(diào)機(jī)房建設(shè)要求建在有外墻位置，具備單獨供電系統(tǒng)和接地系統(tǒng)，設(shè)有上下水且下水要作防異味處理 。保溫墻面需采用熱導(dǎo)率在 0.021～0.12Kcal/m·H·℃(λ=0.0244～0.1395w/m·k)范圍內(nèi)，吸水率不大于 10%，熱絕緣性能優(yōu)、耐水性能好、阻燃難燃、綠色環(huán)保且尺寸穩(wěn)定性能好的材料。溫度傳感器的精度能達(dá)到±0.005℃以內(nèi)，濕度傳感器精度達(dá)到±1% RH 以內(nèi)，能夠感知環(huán)境參數(shù)的變化。芯片光刻恒溫恒濕穩(wěn)定性

墻體和屋頂是實驗室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的重要組成部分，需要有良好的隔熱保溫性能。通常采用保溫性能好的材料，如聚苯乙烯泡沫板（EPS）、聚氨酯泡沫板（PU）或巖棉板等。以 PU 泡沫板為例，它的導(dǎo)熱系數(shù)很低，一般在 0.02 - 0.03W/(m?K) 之間，能夠有效阻止室內(nèi)外熱量的傳遞。墻體的厚度根據(jù)實驗室的溫濕度要求和所在地區(qū)的氣候條件而定，一般在 100 - 200mm 左右。屋頂還需要考慮防水和排水設(shè)計，防止雨水滲透影響室內(nèi)環(huán)境。可以采用雙層防水卷材和排水坡度相結(jié)合的方式，排水坡度一般不小于 3%。江蘇恒溫恒濕選型設(shè)備大小可定制，能匹配各種高精密設(shè)備型號，及操作空間要求，構(gòu)建完整環(huán)境體系，保障高精密設(shè)備正常運(yùn)行。

恒溫恒濕實驗室通風(fēng)方式也歷經(jīng)多個發(fā)展階段。從蕞初的底出風(fēng)，到上自然送風(fēng)、上散流器送風(fēng)，如今蕞前沿的是上風(fēng)管 + 微孔天花送風(fēng)、下地板回風(fēng)方式。這種方式能讓整個實驗室送風(fēng)柔和、均勻，溫濕度控制更為穩(wěn)定 。新風(fēng)系統(tǒng)同樣不可或缺，它一方面為工作人員提供新鮮空氣，保障身體健康；另一方面，對實驗室溫濕度穩(wěn)定性貢獻(xiàn)巨大。為使實驗室不受外界干擾，需向室內(nèi)提供新風(fēng)，維持實驗室氣壓為正，防止外界空氣進(jìn)入，確保長年溫濕度穩(wěn)定。

實驗室裝修:要求嚴(yán)格的保溫隔濕性能，建議實驗室四個立面采用彩鋼復(fù)合板(為了滿足防火要求，一般采用巖棉彩鋼板。但是巖棉保溫性能差，相當(dāng)好是在巖棉彩鋼板外側(cè)再加封一層酚醛鋁箔保溫板，增加外墻保溫性能能夠有效的節(jié)能減耗)，為了保證密閉性，頂面應(yīng)采用彩鋼板密封，在頂面再加封酚醛鋁箔板保溫，地面則采用酚醛保溫板進(jìn)行保溫隔濕處理;對于透視窗，要求采用雙層中空玻璃窗。二、通風(fēng)方式:通風(fēng)方式經(jīng)歷過好幾個歷史階，從相當(dāng)初的底出風(fēng)，到上自然送風(fēng)，到上散流器送風(fēng)，到現(xiàn)在先進(jìn)的上風(fēng)管+微孔天花送風(fēng)，下地板回風(fēng)方式，整個實驗室送風(fēng)柔和、均勻，溫濕度控制非常穩(wěn)定，三、實驗室空調(diào):實驗室空調(diào):實驗室空調(diào)是溫濕度控制的心臟，要求精度高，故障率低。所以必須要求空調(diào)能調(diào)節(jié)制冷量，目前有兩種方式:一種是變頻調(diào)節(jié)，另一種是冷凍水調(diào)節(jié)方式。四、新風(fēng)系統(tǒng):新風(fēng)系統(tǒng)的第①作用是為工作人員提供生理新鮮空氣，其對實驗室溫濕度的穩(wěn)妥定性也功不可沒，也是必不可少的設(shè)備:為了讓實驗室不受外界的干擾，必須向?qū)嶒炇姨峁┬嘛L(fēng)，以保持實驗室氣壓為正，這樣外界的空氣進(jìn)入不了實驗室，確保實驗室長年溫濕度穩(wěn)妥。在超高水準(zhǔn)潔凈度控制下，該系統(tǒng)設(shè)備工作區(qū)呈現(xiàn)潔凈度，可優(yōu)于 ISO class3。

要達(dá)到高精度，必須注意四個方面:1，裝修必須嚴(yán)格地達(dá)到保溫隔濕效果;2，高精密恒溫恒濕空調(diào)是關(guān)鍵，高精密恒溫恒濕空調(diào)必須能根據(jù)溫差大小調(diào)節(jié)制冷量，真正的高精密恒溫恒濕空調(diào)，有兩種調(diào)節(jié)冷量的方式:冷凍水式和變頻式。冷凍水高精密恒溫恒濕空調(diào)，服務(wù)商有“南京拓展科技”。
采用普通中央空調(diào)的7℃左右的冷水，安裝一個象水龍頭一樣簡單的閥進(jìn)行控制，當(dāng)不需要制冷時，就關(guān)閉閥，當(dāng)要求制冷時，就打開閥，而且閥的開度的水龍頭一樣，可大可小，真正實現(xiàn)0%到100%調(diào)節(jié)水流量，輕易實現(xiàn)冷量調(diào)節(jié)，控制溫濕度非常穩(wěn)定，而且故障率幾乎為0。工作原理是改變供電頻率而改變壓縮機(jī)的功率，從而改變制冷量，效果非常好。
精密環(huán)控柜為我司自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品。0.05℃恒溫恒濕試驗箱

自面世以來，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了頗多好評。芯片光刻恒溫恒濕穩(wěn)定性

一、保溫處理高精密恒溫恒濕實驗室在裝修時六面保溫處理，即內(nèi)墻面、屋頂、地面均需要用保溫材料敷蓋，降低能耗的同時可大幅提高恒溫恒濕精密空調(diào)的控制精度。二、門窗密封處理實驗室在裝修時窗戶務(wù)必全部封掉，采用冷光源代替自然光照明，房門在裝修時也必須充分考慮保溫及密封。三、緩沖間設(shè)置溫、濕度要求特別高的實驗室必須在裝修時設(shè)置緩沖間，以緩解室內(nèi)外溫濕度差，緩沖間與實驗室隔離開來，單獨留有空調(diào)送風(fēng)口及做好回風(fēng)處理，操作人員在進(jìn)入緩沖間后隨即關(guān)門并在在進(jìn)入實驗室前停留3-5分鐘。四、吊頂與地面對于溫濕度有高精度要求的測試實驗室，專業(yè)公司在設(shè)計精密空調(diào)的送回風(fēng)方式時一律采用微孔吊頂、地板下回風(fēng)的方式。南京拓展科技也同樣采用此種方式。因此在裝修時要采用微孔吊頂，并采用架空防靜電地板（架空高度30cm），形成空調(diào)上送風(fēng)，地板底回風(fēng)的模式。另外在送風(fēng)時考慮到均勻性，需要制作送風(fēng)管道，材料采用鋁鉑復(fù)合酚醛泡沫保溫板材。五、電器照明高精度實驗室在裝修時應(yīng)該遵循盡量減少發(fā)熱量的原則，在電器選擇上必須采用發(fā)熱量低的照明及其它電器設(shè)備。芯片光刻恒溫恒濕穩(wěn)定性